Halbleiterbauelemente - Integrierte Schaltungen - Teil 23-3: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen; Zertifizierung von Fertigungslinien; Selbst-Auditierungs-Checkliste und Bericht
Englischer Titel
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 23-3: Hybrid integrated circuits and film structures; Manufacturing line certification; Manufacturers' self-audit checklist and report