Halbleiterbauelemente - Integrierte Schaltungen - Teil 23-2: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen; Zertifizierung von Fertigungslinien; Innere Sichtkontrolle und spezielle Prüfungen
Englischer Titel
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 23-2: Hybrid integrated circuits and film structures; Manufacturing line certification; Internal visual inspection and special tests