Halbleiterbauelemente - Integrierte Schaltungen - Teil 23-1: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen; Zertifizierung von Fertigungslinien; Fachgrundspezifikation
Englischer Titel
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 23-1: Hybrid integrated circuits and film structures; Manufacturing line certification; Generic specification