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Dieses Dokument ersetzt DIN ISO 10110-14:2004-02 .
Dokument wurde ersetzt durch DIN ISO 10110-14:2019-09 .
Gegenüber DIN ISO 10110-14:2004-02 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Änderung von Begriffen: - bisher: Pfeilhöhenfehler (en: sagitta error), jetzt: Pfeilhöhenabweichung (en: sagitta deviation); - bisher: rotationssymmetrische Unregelmäßigkeit (en: rotationally symmetric irregularity), jetzt: rotationsinvariante Unregelmäßigkeit (en: rotationally invariant irregularity); - bisher: rms-Asymmetrie der Wellenfront (en: rms wavefront asymmetry), jetzt: rms der rotationsabhängigen Unregelmäßigkeit (en: rms rotationally varying wavefront deviation); b) Abschnitt 4.2 "Einheiten": Verwendung der Einheit "Nanometer" neu aufgenommen; c) In ISO 14999-4 verschoben bzw. ersatzlos gestrichen wurden: - Abschnitt 3: alle Begriffe und die zugehörigen Definitionen; - Abschnitt 5 "nicht kreisförmige Prüfbereiche"; - Anhang A "Digitale Interfergrammauswertung"; - Anhang B "Visuelle Interferogrammauswertung"; d) Übernahme der Internationalen Norm ISO 10110 14:2007.