DIN EN ISO 3882:2003-10

In der Norm sind die verschiedenen Verfahren, die für die Messung von Schichtdicken verwendet werden, zusammengefasst und deren Arbeitsprinzipien beschrieben.
Verfahren zur Schichtdickenmessung können entweder zerstörend oder zerstörungsfrei sein (Tabelle 1). Die in Tabelle 2 aufgeführten Angaben unterstützen die Auswahl typischer instrumenteller Verfahren zur Messung der Dicke. Für alle instrumentellen Verfahren gilt, dass die Anweisungen der Hersteller eingehalten werden sollten. Die für die unterschiedlichen Verfahren angegebenen Dickenbereiche hängen von den Schichtwerkstoffen, der Schichtdicke, den Grundwerkstoffen und den verwendeten Messgeräten ab (Tabelle 3). So kann z. B. mit Hilfe der Röntgenspektrometrie die Dicke einer Chromschicht gemessen werden, von Dicken ab 20 µm jedoch nicht mehr mit ausreichender Präzision.
Ähnlich verhält es sich bei Anwendung magnetischer Verfahren: sie können zwar zur Messung der Dicke einer Goldschicht auf einem Grundwerkstoff aus magnetischem Stahl angewendet werden, aber viele magnetische Geräte haben keine ausreichende Empfindlichkeit, um genaue Messungen von Goldschichten mit Dicken unter 2 µm durchzuführen.
Wenn ein Schiedsverfahren benötigt wird, sollte die für die jeweilige Schicht zutreffende Spezifikation herangezogen werden.