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Dieses Dokument ersetzt DIN EN ISO 15708-2:2019-09 .
Gegenüber DIN EN ISO 15708-2:2019-09 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Korrektur des Mindestvakuums zur Aktivierung der Turbopumpe in A.1.1; c) Ergänzung der photonenzählenden Detektoren als Beispiel unter Halbleitern in A.2.3; d) redaktionelle Änderungen.