DIN EN ISO 14644-8:2022-10

Dieses Dokument legt typische Bewertungsverfahren zur Bestimmung der Einstufung der chemischen Luftreinheit (ACC, englisch: air chemical cleanliness) in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen hinsichtlich der luftgetragenen Konzentrationen spezifischer chemischer Substanzen (einzeln, gruppenweise oder als Kategorien) fest und stellt ein Protokoll zur Verfügung, um Prüfverfahren, Analyse und Zeitgewichtungsfaktoren in die Bestimmung einzuschließen. Dieses Dokument betrachtet ausschließlich Konzentrationen von luftgetragenen chemischen Kontaminanten im Bereich von 100 g/m³ und 10^-12 g/m³ unter Reinraumbetriebsbedingungen. Dieses Dokument ist nicht anwendbar bei solchen Industriezweigen und Prozessen oder Produktionen, bei denen oder bei der das Vorhandensein von luftgetragenen chemischen Substanzen nicht als Risiko für das Produkt oder den Prozess betrachtet wird. Es ist nicht Ziel dieses Dokuments, die Beschaffenheit luftgetragener chemischer Kontaminanten zu beschreiben. Dieses Dokument gibt keine Klassifizierung für chemische Oberflächenkontamination vor.