DIN EN ISO 14644-3:2006-03

Die Europäische/Internationale Norm wurde im CEN/TC 243 "Reinraumtechnologie" in Zusammenarbeit mit der ISO/TC 209/WG 3 "Messtechnik und Prüfverfahren" erstellt. National ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA "Reinraumtechnik" im NHRS zuständig.
In der Norm DIN EN ISO 14644-3 sind Prüfverfahren für die entsprechend bezeichnete Klassifikation der Reinheit von luftgetragenen Teilchen und zur Beschreibung der Leistung von Reinräumen und reinen Bereichen festgelegt. Das betrifft Leistungsprüfungen für zwei Arten von Reinräumen und reinen Bereichen, und zwar mit turbulenzarmer und turbulenter Strömung. Drei Betriebszustände werden betrachtet: Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung. Aufgrund der in der Norm beschriebenen Prüfverfahren werden Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung von Kenngrößen für die Leistung empfohlen. Wird das Prüfverfahren durch die Art des Reinraums oder reinen Bereichs beeinflusst, werden alternative Verfahren vorgeschlagen. Für einige Prüfungen werden mehrere unterschiedliche Verfahren und Geräte empfohlen, sodass verschiedenen Nutzungsarten Rechnung getragen werden kann. Soweit zwischen Kunden und Lieferanten vereinbart, dürfen auch alternative nicht in DIN EN ISO 14644-3 beschriebene Verfahren angewendet werden. Solche Verfahren liefern nicht zwingend gleichwertige Messungen.
DIN EN ISO 14644-3 ist nicht auf die Messung von Produkten oder Prozessen in Reinräumen oder reinen Bereichen anwendbar.