DIN EN IEC 63041-3:2021-07

Dieser Teil von IEC 63041 gilt für piezoelektrische physikalische Sensoren, die hauptsächlich im Bereich der Prozesssteuerung, der kabellosen Überwachung, der Dynamik, der Thermodynamik, der Vakuumtechnik und Umweltwissenschaften eingesetzt werden. Dieses Dokument stellt Anwendern sowohl einen technischen Leitfaden als auch allgemeine Informationen zu üblichen physikalischen Sensoren zur Verfügung. Die in dieser Norm behandelten piezoelektrischen Sensoren werden zur Erkennung und Messung physikalischer Größen wie Kraft, Druck, Drehmoment, Viskosität, Temperatur, Schichtdicke, Beschleunigung, Schwingung und Neigungswinkel eingesetzt. Ein piezoelektrisches Beschleunigungssensorelement ist ein piezoelektrisches Sensorbauteil, dessen Resonanzfrequenz oder -verzögerung verwendet wird, um Änderungen der Geschwindigkeit eines Objekts über der Zeit zu messen. Ein piezoelektrisches Luftfeuchtesensorelement ist ein piezoelektrisches Sensorbauteil, dessen Resonanzfrequenz oder Verzögerung zur Messung des Taupunkts und Erkennung von Feuchte verwendet wird. Ein piezoelektrisches Neigungswinkel-Sensorelement ist ein piezoelektrisches Sensorbauteil, dessen Resonanzfrequenz oder -verzögerung verwendet wird, um Neigungswinkel, Erhebungen oder Absenkungen eines Objekts im Hinblick auf die Erkennung der Schwerkraft zu messen. Ein piezoelektrisches Schwingungssensorelement ist ein piezoelektrisches Sensorbauteil, dessen Resonanzfrequenz oder -verzögerung zur Messung von Schwingungen verwendet wird. Ein Dualmodus-Sensor ist ein piezoelektrischer Sensor, der physikalische Größen durch eine Veränderung der Resonanzfrequenzen zweier unabhängiger Betriebsarten an einer einzelnen piezoelektrischen Platte erkennen kann. Sensorlösungen mit zwei oder mehr Betriebsarten werden verwendet, um die Genauigkeit zu verbessern und/oder unerwünschte Einflussfaktoren zu vermeiden. Durch die Bewertung der Empfindlichkeit dieser Kombinationen für verschiedene Umgebungsbedingungen kann einerseits die Erkennungsempfindlichkeit verbessert und andererseits können unerwünschte Empfindlichkeiten reduziert oder vermieden werden. Ein Differentialsensor ist ein piezoelektrischer Sensor, der in der Lage ist, physikalische Größen durch eine Veränderung der Resonanzfrequenzen oder Verzögerungen zweier unabhängiger und gleicher mikroakustischer Strukturen auf derselben oder unterschiedlichen piezoelektrischen Platte(n) zu erkennen. Ein Multi-Messgrößen-Sensor ist ein piezoelektrischer Sensor, der in der Lage ist, zwei oder mehr verschiedene physikalische Größen durch eine Analyse verschiedener Sensorreaktionen zu erkennen.