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Dieses Dokument ersetzt DIN EN 61300-3-16:1998-09 .
- Überarbeitung des Messverfahrens 1 "Zweidimensionale Oberflächenanalyse; - Überarbeitung des Messverfahrens 2 "Zweidimensionale interferometrische Oberflächenanalyse; - Herausnahme des Messverfahrens 3 "Profilmessung".