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Die Norm wurde vom Arbeitsausschuss NMP 815 "Grundlagen der analytischen Atomspektrometrie" im Normenausschuss Materialprüfung (NMP) ausgearbeitet.
In der Norm werden Begriffe für Analyseverfahren festgelegt, bei denen der Nachweis von Elementen und deren Gehaltsbestimmung durch Messen der Emission oder Fluoreszenz von Röntgenstrahlung erfolgt. Ziel ist es, Begriffe für das Gebiet der TXRF aufzustellen und mit den Begriffen für die verschiedenen Gebiete der optischen Atomspektralanalyse: Optische Emissionsspektrometrie (OES), Atomabsorptionsspektrometrie (AAS) und Atomfluoreszenzspektrometrie (AFS) abzugleichen.
Dokument wurde ersetzt durch DIN 51003:2022-05 .
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