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Die Norm wurde vom Arbeitsausschuss NMP 815 "Grundlagen der analytischen Atomspektroskopie" erstellt.
In der Norm werden Begriffe für Analysenverfahren festgelegt, bei denen der Nachweis von Elementen und deren Gehaltsbestimmung durch Messen der Ionenströme ihrer in einem induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) ionisierten Isotope mit einem Massenspektrometer erfolgt. Ziel ist es, das Aufstellen von speziellen Festlegungen für die verschiedenen Gebiete der ICP-massenspektrometrischen Elementanalyse zu vereinheitlichen und auch, so weit wie möglich, Übereinstimmung mit den Begriffen der ICP OES sowie der AAS, AFS und RFA zu erreichen. Begriffe zur ICP, die nicht spezifisch für die ICP-MS sind, sind in DIN 51008-2 festgelegt. Allgemeine Begriffe zur optischen Atomspektralanalyse enthält DIN 51009.
Dokument wurde ersetzt durch DIN 51002:2020-07 .
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