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Norm [AKTUELL]
DIN 50989-6:2024-02
Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch
- Englischer Titel
- Ellipsometry - Part 6: Effective Materials model; Text in German and English
- Ausgabedatum
- 2024-02
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 39
- Ausgabedatum
- 2024-02
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 39
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3498042
Produktinformationen auf dieser Seite:
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Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d von Schichten effektiver Materialien sowie deren optischen (N) beziehungsweise dielektrischen (ε) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Effektive Materialien fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Inhaltsverzeichnis
ICS
19.100
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3498042
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