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Norm [AKTUELL]
DIN 50989-5:2023-12
Ellipsometrie - Teil 5: Modell Mehrfachschichten und periodische Schichten; Text Deutsch und Englisch
- Englischer Titel
- Ellipsometry - Part 5: Multiple layers and periodic layers model; Text in German and English
- Ausgabedatum
- 2023-12
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 44
- Ausgabedatum
- 2023-12
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 44
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3493792
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Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Gesamtschichtdicke dt des Schichtsystems und der Schichtdicken di von Einzelschichten in Mehrfachschicht- beziehungsweise periodischen Schichtsystemen sowie deren optischen (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) beziehungsweise dielektrischen (RealTeil ε1 und ImaginärTeil ε2) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Mehrfachschichten und periodische Schichten fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.