Wir sind telefonisch für Sie erreichbar!
Montag bis Freitag von 08:00 bis 15:00 Uhr
DIN Media Kundenservice
Telefon +49 30 58885700-70
Norm [AKTUELL]
DIN 50989-3:2022-04
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
- Englischer Titel
- Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model; Text in German and English
- Ausgabedatum
- 2022-04
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 77
- Ausgabedatum
- 2022-04
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 77
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3319666
Produktinformationen auf dieser Seite:
Schnelle Zustellung per Download oder Versand
Sicherer Kauf mit Kreditkarte oder auf Rechnung
Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε<(index)1>) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Inhaltsverzeichnis
ICS
19.100
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3319666
Lade Empfehlungen...
Lade Empfehlungen...