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DIN 50455-1:1991-06

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken; Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Meßmethoden

Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology; methods for characterizing photoresists; determination of coating thickness with optical methods
Ausgabedatum
1991-06
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
3

ab 34,60 EUR inkl. MwSt.

ab 32,34 EUR exkl. MwSt.

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Ausgabedatum
1991-06
Originalsprachen
Deutsch
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3

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