Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mittels einer Diphosphorpentoxidzelle
Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
Ausgabedatum
1987-08
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
2
Ausgabedatum
1987-08
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
2
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2081478
Produktinformationen auf dieser Seite:
Schnelle Zustellung per Download oder Versand
Sicherer Kauf mit Kreditkarte oder auf Rechnung
Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung
ICS
29.045,
71.100.20
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2081478
Normen mitgestalten
Sollten Sie Verständnisprobleme zum Inhalt der Norm haben oder Hilfe bei der Anwendung benötigen, wenden Sie sich bitte an den - hier genannten - zuständigen Ansprechpartner im DIN.