DIN 32567-1:2015-06

Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 027-03-03 AA "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) bei DIN erarbeitet. DIN 32567-1 gibt für die Messung der Schichtdicke und Stufenhöhe der Gestalt aus inhomogenen Materialien mit Tastschnitt-, Weißlichtinterferenz-, Phasenschiebeinterferenz- und konfokalmikroskopischen Messgeräten Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke beziehungsweise Stufenhöhe aufgrund von Materialeinflüssen ermittelt werden können. Die dimensionelle Messung von Mikrobauteilen ist eine wesentliche Aufgabe der Mikroproduktionstechnik. Dabei stellen die Messung der Strukturen aufgrund ihrer Größe im µm-Bereich und der Materialeigenschaften eine besondere Herausforderung an die spezifische Messaufgabe. Bisher liegen den Kalibrierverfahren größtenteils idealisierte Annahmen zugrunde. So sind zum Beispiel die Prüfkörper aus steifem, gut reflektierendem, homogenem Material, sodass bei taktiler Messung die elastische/plastische Verformung des Prüfkörpers vernachlässigt werden kann. Analog verhält es sich mit dem Einfluss der optischen Materialeigenschaften bei optischer Messung. Gerade in Mikrodimensionen gewinnen die materialspezifischen Eigenschaften an Bedeutung. Daher sind zum Zweck der Bestimmung des Materialeinflusses auf die dimensionelle Messung mit unterschiedlichen, technisch relevanten Materialien (Metalle, Kunststoffe) beschichtete Prüfkörper entwickelt worden.