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Dieses Dokument liefert eine Anleitung, wie mit der Elektronenrückstreubeugung (EBSD, englisch: electron backscatter diffraction) verlässliche und reproduzierbare Messungen der kristallographischen Orientierung durchgeführt werden können. Sie behandelt die Anforderungen an die Probenvorbereitung, an Gerätekonfiguration, Gerätekalibrierung sowie Datenerfassung. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA "Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Gegenüber DIN ISO 24173:2013-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Abschnitt 3 aktualisiert; b) "in die Arbeitsposition" in "in die Detektorposition" geändert [siehe 6.6 d)]; c) "7.1 Präparation für die Voruntersuchung" in der vorherigen Ausgabe entfällt; d) "Anhang B (normativ)" geändert in "Anhang B (informativ)"; e) Dokument an ISO-Regeln angepasst; f) Dokument redaktionell überarbeitet.
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