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Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN EN ISO 14644-17:2019-11 - Entwurf

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 17: Anwendungen zur Partikelabscheidungsrate (ISO/DIS 14644-17:2019); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 14644-17:2019

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications (ISO/DIS 14644-17:2019); German and English version prEN ISO 14644-17:2019
Erscheinungsdatum
2019-10-18
Ausgabedatum
2019-11
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
62

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Erscheinungsdatum
2019-10-18
Ausgabedatum
2019-11
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
62
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3107061

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Einführungsbeitrag

Dieser Teil der Normenreihe ISO 14644 gibt Leitlinien für Interpretation und Anwendung der Ergebnisse der Messung der Partikelabscheidungsrate (PDR) auf einer oder mehreren empfindlichen Oberflächen eines Reinraums als Teil eines Kontaminationskontrollprogramms. Es werden Hinweise gegeben, wie sich die PDR beeinflussen und das Risiko einer Partikelkontamination auf empfindlichen Oberflächen reduzieren lässt.

Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3107061
Ersatzvermerk

Dokument wurde ersetzt durch DIN EN ISO 14644-17:2021-06 .

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