Surface chemical analysis. Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
German title
Chemische Oberflächenanalyse. Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials
Publication date
2009-11-30
Original language
English
Pages
30
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2009-11-30
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30
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